无机化学学报

不同形貌In_xGa_1-xN纳米材料的制备及发光性能研究

Fabrication and Optical Property of Different Morphologies In_xGa_1-xN Nano-Crystals

作者	单位
刘海瑞	太原理工大学新材料界面科学与工程教育部重点实验室，太原 030024 太原理工大学材料科学与工程学院，太原 030024
赵　丹	太原理工大学新材料界面科学与工程教育部重点实验室，太原 030024 太原理工大学材料科学与工程学院，太原 030024
梁　建	太原理工大学新材料界面科学与工程教育部重点实验室，太原 030024 太原理工大学材料科学与工程学院，太原 030024
张竹霞	太原理工大学新材料界面科学与工程教育部重点实验室，太原 030024 太原理工大学材料科学与工程学院，太原 030024
刘旭光	太原理工大学新材料界面科学与工程教育部重点实验室，太原 030024 太原理工大学化学化工学院，太原 030024
贾虎生	太原理工大学新材料界面科学与工程教育部重点实验室，太原 030024 太原理工大学材料科学与工程学院，太原 030024
许并社	太原理工大学新材料界面科学与工程教育部重点实验室，太原 030024 太原理工大学材料科学与工程学院，太原 030024

摘要: 采用常压化学气相沉积法(APCVD)，分别以金属镓(Ga)，铟(In)和氨气(NH₃)为镓源，铟源和氮源，在Si衬底上利用催化剂Au成功合成了不同形貌的In_xGa_1-xN纳米材料。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)，X射线光电子能谱(XPS)和光致发光谱(PL)对比研究了In_xGa_1-xN(x=0，0.25)纳米材料在形貌，化学成分，晶体结构以及发光特性的变化。分析结果表明：当没有催化剂时，所生成的In_xGa_1-xN样品形貌由片状结构自组装成花状结构，而在催化剂Au的作用下，生成的In_xGa_1-xN纳米晶的形貌变为以纳米线为轴在其上生长的片状的“塔”状结构；虽然在催化剂Au的作用下生成的In_xGa_1-xN(x=0.25)形貌发生了很大变化，但晶体结构未发生改变，均为六方纤锌矿结构；PL分析结果显示In_xGa_1-xN纳米结构的发光性能随着In含量的增加，发光谱的强度增加且同时出现了蓝光区，在催化剂Au的作用下生成的In_xGa_1-xN的发光强度最强。最后对不同形貌In_xGa_1-xN其生长机理做简单分析。

关键词: InGaN纳米晶 Au催化六方纤锌矿结构 PL谱

基金项目:

Abstract: Different morphologies of In_xGa_1-xN (x=0, 0.25) nanomaterials were prepared upon Si substrates by Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition (APCVD), metal Ga, In, NH₃ gas as the source of In_xGa_1-xN, respectively. Gold (Au) as catalyst has an important role for the change of morphology. The morphology, chemical composition, crystalline, and PL properties of In_xGa_1-xN were investigated by XRD, SEM, XPS, and PL, respectively. The results show that all samples are Wurtzite structure, however, the morphology has been changed from flower to pagoda with the effect of Au catalyst; with the increase of In content, the intensity of PL for In_xGa_1-xN nano-crystals increases and blue light zone appears. In addition, the intensity of PL of In_xGa_1-xN prepared with the catalysis of Au is the strongest comparing with others samples. Finally, a possible formation process for growing different morphologies In_xGa_1-xN nano-structures is proposed.

Keywords: InGaN nano-crystal Au catalyst wurtzite structure PL spectrum

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刘海瑞,赵　丹,梁　建,张竹霞,刘旭光,贾虎生,许并社.不同形貌In_xGa_1-xN纳米材料的制备及发光性能研究[J].无机化学学报,2012,28(6):1177-1182.

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