无机化学学报

用XPS和XAES分析电化学沉积的DLC膜

By XPS and XAES Study Diamond-like Carbon Films from Electrochemical Deposition

作者	单位
阎兴斌	中科院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室，兰州 730000
徐洮	中科院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室，兰州 730000
王博	中科院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室，兰州 730000
杨生荣	中科院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室，兰州 730000

摘要: 采用电化学沉积方法，以甲醇溶剂作碳源，直流电压作用下在单晶硅表面沉积得到碳薄膜。通过研究石墨、金刚石和样品薄膜的XPS和XAES谱图特征，证明了此方法沉积得到的是DLC薄膜;利用曲线拟合技术在C_1s电子能谱图中拟合出sp³峰与sp²峰，并计算出样品薄膜中sp³碳的相对含量为55%;研究石墨、金刚石和样品薄膜的一阶微分XAES谱图，用线性插入法估算出样品薄膜中sp³碳的相对含量为60%。

关键词: 类金刚石碳膜电化学沉积 XPS XAES

基金项目:

Abstract: The carbon film was deposited on silicon substrates by the electrolysis of methanol. XPS and XAES spectra show that the sample film is a diamond-like carbon (DLC) film. A curve-fitting technique was applied to separate C_1s peak in the XPS spectra of the sample film into sp³ peak and sp² peak， for which the percentage of sp³ is 55%. The first-derivative XAES spectra also show that the percentage of sp³ is approximate to 60% by the means of linear interpolation of D.

Keywords: DLC film electrochemical deposition XPS XAES

摘要点击次数: 1211

全文下载次数: 2095

阎兴斌,徐洮,王博,杨生荣.用XPS和XAES分析电化学沉积的DLC膜[J].无机化学学报,2003,19(6):569-573.

查看全文查看/发表评论下载PDF阅读器

Support information: